中微公司去年营收123.85亿增三成 拟并购杭州众硅补齐“湿法工艺领域”

3月30日晚间，中微半导体设备（上海）股份有限公司（688012，以下简称“中微公司”）披露2025年年度报告。报告显示，2025年公司全年实现营业收入123.85亿元，同比增长36.62%。归属于上市公司股东的净利润达21.11亿元，同比增长30.69%，扣非净利润为15.50亿元，增长11.64%。公司拟向全体股东每10股派发现金红利3.50元（含税）。拟以资本公积金向全体股东每10股转增4.9股。

中微公司主要从事半导体设备的研发、生产和销售，通过向下游集成电路、LED 外延片、先进封装、 MEMS 等半导体产品的制造公司销售刻蚀设备、薄膜设备和MOCVD设备、 提供配件及服务。

中微公司指出，2025年刻蚀设备销售约98.32亿元，同比增长约35.12%；LPCVD设备销售约5.06亿元，同比增长约224.23%；公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

公告显示，中微公司的刻蚀设备业务继续发挥压舱石作用，截至2025年底，公司刻蚀设备反应台全球出货量超过6800台，应用范围覆盖65纳米至3纳米及更先进制程的各类刻蚀场景，在国内主要客户芯片生产线的市占率持续稳步提升。

值得注意的是，中微公司自主研发的CCP高能等离子体刻蚀设备和ICP低能等离子体刻蚀设备已实现对95%以上的三百多种刻蚀应用需求的覆盖。其中，60比1超高深宽比刻蚀设备在存储器生产线上实现稳定可靠的大批量生产，使中微公司成为国内极少数能够全面覆盖存储器刻蚀应用中各类超高深宽比需求的供应商。此外，ICP双台机的重复性和匹配精度达到皮米级控制水平，核心工艺指标再攀新高；新开发的晶圆边缘刻蚀设备和金属刻蚀机也顺利进入客户端生产线验证。

晶圆制造设备可以分为刻蚀、薄膜沉积、光刻、量检测、离子掺杂等品类，其中刻蚀设备、薄膜沉积设备、光刻设备是集成电路前道生产工艺中制程步骤数量庞大，工艺开发颇具挑战性的三类核心设备。 根据Gartner历年统计， 全球刻蚀设备、 薄膜沉积设备分别占晶圆制造设备价值量约 22%和 23%。

公告显示，中微公司薄膜沉积设备业务在2025年迎来爆发式增长，全年营收同比增长约224.23%，成为驱动中微公司业绩增长的重要新引擎。

中微公司董事长尹志尧曾说：“一个半导体设备公司如果只开发刻蚀设备，而没有薄膜设备，其发展空间就会受到限制。”

近年来中微公司将各类薄膜沉积设备的开发和导入市场作为聚焦重点，以行业领先的研发速度，在短时间内成功开发出十几种导体和介质薄膜核心设备，多款产品实现技术与市场的双重突破。

中微公司继续大力度加码研发。报告显示，2025年中微公司研发投入达37.44亿元，同比增长52.8%，占营业收入比重超过30%，远高于科创板上市公司10%到15%的平均水平。高强度的研发投入推动产品迭代速度显著提升，新设备开发周期从传统的3至5年缩短至2年以内。

据披露，目前中微公司正在推进六大类、超20款新设备的研发工作，涵盖新一代CCP高能等离子体刻蚀设备、ICP低能等离子体刻蚀设备、晶圆边缘刻蚀设备、LPCVD及ALD薄膜设备、硅和锗硅外延EPI设备、新一代等离子体源的PECVD设备、CuBS PVD超多反应腔集成设备、电子束量检测设备、大平板设备以及多款新型MOCVD设备等。

3月30日当天，中微公司正式披露《发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金报告书（草案）》，中微公司拟通过发行股份及支付现金的方式购买杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方合计持有的杭州众硅64.69%股权，并募集配套资金。整个股权交易金额为15.7亿元，募资金额为15亿元。

这是中微公司成立二十余载来的首次以发股方式实施控股权并购，也是自“科创板八条”“并购六条”等政策发布以来，半导体设备类上市公司中首个以发股方式收购资产的案例。

中微公司作为国内等离子体刻蚀和薄膜沉积等干法设备的领军者，已在65纳米至3纳米及更先进制程领域实现量产，但在湿法工艺领域，特别是与刻蚀、薄膜并称为前道核心工艺的化学机械抛光（CMP）设备，中微公司此前尚存空白。

杭州众硅正是填补这一空白的关键拼图。作为国内少数掌握12英寸高端CMP设备核心技术并实现量产的企业，杭州众硅由CMP设备领域资深专家顾海洋博士于2018年创立，其首创的6盘设计，显著提升了设备的输出效率，产能（WPH）水平可以更好满足下游客户的需求。

通过本次交易，中微公司将成为具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法”四大前道核心工艺能力的厂商，实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方案的关键跨越。这意味着中微公司能够为客户提供更高度协同、更系统化的成套设备方案，有望缩短客户工艺调试与验证周期，增强客户黏性，加速国产设备在主流产线的规模化渗透。

此外，公告中提及，中微公司还将通过整合采购需求、共享供应商资源及部署自主研发的管理软件平台，帮助杭州众硅降低关键零部件采购成本与整体运营成本，实现从研发到交付全链条的效率提升。

3月30日收盘，中微公司报收316.74元，增长3.64%。