——深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市网上投资者交流会精彩回放
出席嘉宾
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司董事长、总经理乐卫平先生
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司董事、战略发展总监刘涛先生
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司董事会秘书庄丽华女士
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司财务总监郑悦佳女士
中信证券股份有限公司投行委董事总经理童育坚先生
中信证券股份有限公司投行委高级副总裁翁媛媛女士
中信证券股份有限公司保荐代表人王纯然先生
中信证券股份有限公司保荐代表人曹阳先生
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
董事长、总经理乐卫平先生致辞
尊敬的各位嘉宾、各位投资者、各位网友：
大家好！
欢迎大家参加深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市的网上路演活动。在此，我谨代表公司管理团队和全体员工，向关心与支持恒运昌的广大投资者表示热烈的欢迎和衷心的感谢！
恒运昌是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
恒运昌始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，在国家政策红利与半导体国产化发展双重浪潮的驱动下，为半导体设备国产化贡献中国“芯”力量。公司将精准把握半导体产业重构的战略机遇，通过持续加大研发投入与技术创新，深耕等离子体技术领域。未来，我们将加速迈进智能制造，在提升产品性能与技术指标的同时，持续拓宽产品矩阵并优化产能布局。我们将深度协同高端装备制造产业链，以技术突破的“核心竞争力”支撑业务发展的“高韧性”。恒运昌愿与广大投资者共抓时代机遇，共同推动中国半导体产业实现高质量发展，助力关键环节的全面自主可控。
此次登陆资本市场，是恒运昌发展史上的重要里程碑。籍此次上市契机，我们将充分发挥优势，引领国内等离子体射频电源系统产业的快速发展，推动前沿技术成果在产业应用中的有效转化，在不断扩大市场占有率的同时，以长期、稳定的价值增长回报每一位投资者的信任。真诚地希望大家与恒运昌携手发展，共创未来！
最后，预祝本次网上路演圆满成功，再次感谢各位投资者对于恒运昌的关注。欢迎大家踊跃提问，积极认购，谢谢大家！
中信证券股份有限公司
投行委董事总经理童育坚先生致辞
尊敬的各位嘉宾、各位投资者、各位网友：
大家好！
首先，我谨代表中信证券股份有限公司，对所有参与深圳市恒运昌真空技术股份有限公司网上路演的嘉宾和投资者表示热烈的欢迎和衷心的感谢！
作为此次恒运昌首发上市的保荐机构和主承销商，中信证券有幸陪伴并见证恒运昌上市的全过程。在此期间，我们真切目睹了恒运昌坚守主业、持续成长的坚实步伐，也深刻感受到恒运昌不断突破技术封锁、做大做强民族品牌的坚定信念与强烈初心。中信证券非常荣幸能将恒运昌这样一家优秀的企业推荐给大家。
等离子体射频电源系统是PECVD、刻蚀等核心半导体装备的心脏，它的性能直接决定芯片良率，其研发难度大、技术壁垒高，长期被MKS、AE等海外巨头垄断。2024年，中国半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，其自主可控直接关系到我国半导体产业的供应链韧性与安全。
恒运昌凭借十余年技术攻坚，已成功打破海外垄断格局。恒运昌自主研发的射频电源系统性能已达到国际先进水平，并批量交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海、屹唐股份等国内半导体装备龙头，在国产射频电源领域的市场份额位列第一，已实现射频电源系统前道制程应用领域的全覆盖，并为中芯国际等晶圆厂提供原位替换及维修服务，为推动半导体设备关键零部件全面自主可控作出了一定的贡献。
当前，AI应用需求的爆发正驱动半导体产业迎来新一轮增长浪潮。更为关键的是，半导体装备核心零部件国产化发展的浪潮已无法阻挡。这两大趋势为恒运昌带来了坚实、广阔的未来空间。
与此同时，恒运昌始终聚焦技术研发，最新一代产品研发进展顺利，技术竞争力稳步提升。因此，我们坚信，成功迈入资本市场的恒运昌，必将凭借自身优势实现更高质量的发展，以优异的经营业绩回报广大投资者的信任与支持。我们希望通过本次网上路演推介，广大投资者能够充分认识到恒运昌的投资价值，积极参与本次恒运昌的发行，从恒运昌的稳健增长和长期发展中受益。
最后，预祝本次网上路演圆满成功！再次感谢各位投资者对恒运昌的关注。谢谢大家！
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
董事会秘书庄丽华女士致结束词
尊敬的各位投资者、各位网友：
大家好！
时间过得很快，恒运昌首次公开发行股票并在科创板上市网上路演活动马上就要结束了。非常感谢各位投资者对本次活动的热情参与，以及对恒运昌的关爱、信任和支持，感谢主承销商中信证券以及所有中介机构所付出的辛勤劳动，也衷心感谢上证路演中心、上海证券报以及中国证券网为我们提供了这个良好的互动交流平台。
今天，有机会与这么多关心、关注恒运昌的投资者朋友共同探讨公司的战略规划、经营管理和未来发展，我们感到十分高兴。大家提出了很多非常有价值的意见和建议，在今后的经营管理中，我们一定会认真考虑这些意见和建议，并把朋友们的真知灼见融入恒运昌的经营管理之中，创造出更好的业绩来答谢大家的关心与厚爱。
由于时间关系，我们无法一一回答投资者提出的每一个问题，但恒运昌与投资者之间的沟通交流是持续和畅通的。欢迎大家通过电话、信件、电子邮件等各种方式与我们随时保持联系，也欢迎大家来恒运昌进行实地考察。
最后，再次感谢各位投资者对恒运昌的信任与支持！祝大家身体健康，万事如意，谢谢大家！
经营篇
问：公司的主营业务是什么？
乐卫平：公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
问：公司的客户资源情况如何？
刘涛：目前，公司是国内极少数实现批量交付半导体级等离子体射频电源系统企业，已实现对拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商的批量供货。除半导体设备企业外，公司也已通过中芯国际等国内龙头终端晶圆厂的准入审核。此外，公司还在推进其他多款等离子体射频电源、匹配器、远程等离子源的后续验证工作，以期建立更为密切的合作关系。
核心零部件影响半导体设备运行的整体性能，头部效应显著，领先通过认证并批量交付的企业更容易获得国产化发展资源并形成正向反馈。由于半导体行业验证周期较长，且晶圆厂要求“精确复制”的管理模式，使其确保在全球不同工厂生产产品质量和成品率，因此，核心零部件供应商一旦与主要半导体设备客户建立合作关系，合作关系通常会非常稳定，具有较强的客户黏性，新进入者对合作关系的影响相对较小。公司等离子体射频电源和匹配器产品已经全面覆盖下游头部客户，这些稳定的合作关系将进一步巩固和提升公司在行业中的地位，形成良性循环，为公司在半导体设备领域的持续发展提供了坚实基础。截至2025年6月30日，公司与相关客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款。
问：请介绍公司获得的荣誉情况。
刘涛：公司是国家高新技术企业、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”、“科创中国”射频开关电源创新基地、广东省2024年制造业单项冠军、广东省射频开关电源工程技术研究中心，并获得第六届中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、广东省真空科技进步奖一等奖、2024年“湾芯奖”之“核心零部件创新奖”、中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”和“最佳交付奖”、微导纳米“最佳合作奖”等荣誉。
问：公司拥有的专利情况如何？
庄丽华：截至2025年6月30日，公司及其子公司已获授权的境内外专利共计261项，包括发明专利108项，实用新型专利61项，外观设计专利92项，发明专利占全部已获授权专利的41.38%。
问：公司是否有合作研发情况？
乐卫平：近年来，公司充分利用业界和学术界资源展开产学研合作，与哈尔滨工业大学、广东工业大学、大连理工大学、北京航空航天大学、西安电子科技大学广州研究院、深圳技术大学、岭南师范学院、西南交通大学等高校保持合作沟通，共同推动高精尖领域的技术进步和研发成果产业化。
问：请介绍公司的整体经营成果。
郑悦佳：报告期内（2022年至2024年及2025年上半年，下同），公司营业收入分别为15815.80万元、32526.85万元、54079.03万元和30405.63万元，2022年至2024年营业收入复合增速为84.91%，实现高速增长；归属于母公司股东的净利润分别为2618.79万元、7982.73万元、14154.02万元和6934.76万元；扣除非经常性损益后归属于母公司股东的净利润分别为1961.17万元、6853.38万元、12897.09万元和6476.31万元，展现出较高的盈利能力与良好的发展态势。
问：公司的主营业务毛利率是多少？
郑悦佳：报告期内，公司主营业务毛利率分别为41.49%、45.86%、48.51%和49.01%，收入规模快速增长的同时实现毛利率逐年提升，主要得益于公司高毛利率的自研产品销售规模及占比快速增长。报告期内，公司自研产品毛利率分别为50.30%、54.58%、54.45%和54.66%，伴随公司等离子体射频电源系统产品更新迭代和技术升级逐渐提升。
问：公司的研发费用是多少？
郑悦佳：报告期内，公司研发费用分别为2154.21万元、3696.37万元、5528.00万元和4330.84万元，占营业收入的比例分别为13.62%、11.36%、10.22%和14.24%。最近三年，累计研发投入11378.58万元，占当期营业收入比例为11.11%，研发投入的复合增长率为60.19%。报告期内，研发费用呈上涨趋势，研发费用主要由人工费、材料费和折旧摊销费等构成。
发展篇
问：公司的战略目标与规划是什么？
乐卫平：公司始终致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为半导体设备国产化发展贡献中国“芯”力量。未来，公司将抓住半导体产业链国产化机遇，在国家政策大力支持下，持续致力于半导体设备核心零部件的研发生产，通过自主创新提高公司产品的技术先进性、丰富产品种类、扩大产品市场占有率，助力国内半导体设备企业实现关键零部件全面自主可控。
公司将持续加大技术研发投入，不断提升技术水平与市场竞争力。一方面，公司将进一步拓展并深化核心技术在半导体、光伏、显示面板、精密光学等领域的应用，积极参与客户新产品的开发设计过程，满足多元化的市场需求。另一方面，公司将积极拓展技术应用领域，探索更多行业场景，为客户提供全面的解决方案。
在产品布局方面，公司将采取双轮驱动策略开展，通过内生研发，持续优化现有产品，提升性能与质量，并拓宽产品品类；同时，借助外部并购等战略举措，发展成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为客户提供一站式的产品和服务。
国际化是公司未来发展的核心战略之一。公司将从深耕国内市场起步，逐步拓展国际市场，以全球化视野整合全球优质资源，提升品牌影响力，并力争在未来跻身国际一流的半导体设备核心零部件全球供应商行列。
问：请介绍公司的核心技术优势。
刘涛：经过十多年的持续研发、不断创新和积累，公司以技术发展、行业需求为双导向，建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系。一方面，从测量、控制及架构三方面构建底层通用的三大基石技术，并基于基石技术，结合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定的应用诉求和实现难点，发展出八大产品化支撑技术，实现了突破高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。通过公司的等离子体射频电源系统产品，下游客户的设备实现了将射频赋能等离子体过程控制在10毫秒等级。射频快速响应能够使等离子体在最短时间内达到稳定状态，实现对薄膜厚度和膜厚均匀性的精准控制，是设备运行的稳定性和产品良率的关键。报告期内，公司承担了国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接3项国家级重大专项课题，助力提高我国半导体产业的供应链韧性和安全水平。截至报告期末，公司已获发明专利授权108项，境内外在申请发明专利133项，在产品迭代方面积累了丰富的技术储备。
问：公司是否有计划加强先进产品产能建设？
刘涛：针对现有生产场地和设备不足严重制约公司产能问题，公司将在现有生产模式的基础上，使用募集资金在沈阳新建半导体射频电源产业化中心，在深圳扩建半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地，引进性能更优和智能化水平更高、更先进的生产制造设备、测试设备及仓储系统，并结合生产车间及数据管理系统软件，实现生产制造、经营、管理和决策的智能优化，向模块化、智能化、数字化生产制造车间迈进，从而提高产品生产效率，扩大公司产销规模，满足不断增长的市场需求并解决公司产能瓶颈问题，提升公司整体运营效率，促进公司业绩增长，稳定公司的行业地位以及进一步提升核心竞争力。
行业篇
问：公司的所属行业及依据是什么？
童育坚：公司属于“新一代信息技术”和“高端装备制造”两大战略性新兴产业的交叉领域。根据《上海证券交易所科创板企业发行上市申报及推荐暂行规定（2024年4月修订）》，公司所处行业属于“高端装备”；根据国家统计局发布的《国民经济行业分类》（GB/T4754-2017），公司属于“半导体器件专用设备制造”，行业代码为“C3562”；根据国家统计局《战略性新兴产业分类（2018）》，公司主要产品或服务属于“2高端设备制造产业—2.1智能制造设备产业—2.1.5智能关键基础零部件制造”。
问：公司的市场竞争地位如何？
王纯然：公司自主研发的第二代产品Bestda系列等离子体射频电源系统可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列等离子体射频电源系统可支撑7至14纳米制程，达到国际先进水平，填补国内空白。公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际等国内晶圆厂，在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。公司打破多年来海外巨头在国内等离子体射频电源系统领域的垄断格局，能与海外巨头同台竞争，并不断扩大市场占有率。
公司半导体级等离子体射频电源系统于2018年开始研发、2020年下半年批量交付，报告期内，已实现大规模收入，产品性能获得市场认可。根据弗若斯特沙利文统计，2024年，中国半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为65.6亿元，在中国半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，公司的市场份额位列第一，市场地位领先。
问：请介绍行业竞争格局与主要企业。
翁媛媛：全球等离子体射频电源系统市场呈现高度垄断的竞争格局，主要以美国的两大巨头MKS和AE为主。目前，国产等离子体射频电源系统与MKS、AE等国际企业仍有一定差距，产品尚未进入国际半导体市场，主要用于国内半导体设备商。公司是国内极少数实现量产半导体级等离子体射频电源系统的企业。
发行篇
问：请介绍公司的实际控制人。
庄丽华：公司的实际控制人为乐卫平。乐卫平直接持有恒运昌1172.1312万股股份，直接持股比例为23.0866%，并通过恒运昌投资、投资中心、投资发展中心分别间接控制恒运昌25.8179%、20.7787%和3.1895%的股份表决权，合计控制恒运昌72.8727%的股份表决权。同时，乐卫平担任恒运昌的董事长和总经理，是恒运昌的实际控制人。
问：请介绍公司员工持股平台的设置情况。
庄丽华：为充分调动公司骨干员工的工作积极性，提高团队的稳定性和凝聚力，公司通过投资中心和投资发展中心实行了员工持股和股权激励。投资中心直接持有公司1054.9592万股股份，占公司总股本的20.7787%；投资发展中心直接持有公司161.9369万股股份，占公司总股本的3.1895%。
问：公司选择的具体上市标准是什么？
乐卫平：公司选择适用《科创板上市规则》第2.1.2条第一款，即“预计市值不低于10亿元，最近两年净利润均为正且累计净利润不低于5000万元，或者预计市值不低于10亿元，最近一年净利润为正且营业收入不低于1亿元”。
问：公司本次发行多少股份？
童育坚：公司本次拟公开发行人民币普通股（A股）不超过1693.0559万股，占发行后总股本的比例不低于25.00%。
问：请介绍本次发行的战略配售情况？
乐卫平：本次发行初始战略配售发行数量为338.6111万股，占本次发行数量的20.00%，参与战略配售的投资者主要包括：1）中信证券投资有限公司；2）中信证券资管恒运昌员工参与科创板战略配售集合资产管理计划；3）与公司经营业务具有战略合作关系或长期合作愿景的大型企业或其下属企业，包括拓荆科技、中微临港、屹唐股份、长存鸿图、中电科投资、电控产投、富创精密、豪威集团。
问：请介绍公司募集资金的使用规划及本次融资的必要性？
曹阳：公司本次募集资金将投资于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。募投项目的实施有利于公司扩大生产规模、加强研发投入、提升客户支持服务能力和扩充资本实力，进一步巩固公司在半导体级等离子体射频电源系统领域的领先地位，并继续助力先进制程半导体设备关键零部件的国产化进程。募投项目投资总额为151816.13万元，拟使用募集资金投入金额为146900.00万元。
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